纯净的六氟化硫气体是无毒的，但因为其特殊的保存方法，如果泄露会与其他物质产生化学反应，从而变成有害气体。六氟化硫气体以其高耐电强度及良好的热稳定性能，被广泛应用于高压电气设备中。

纯净的六氟化硫气体是无毒的，但在大电流开断时，由于强烈的电弧放电会产生一些含硫的低氟化物。这些物质反应能力较强，当有水和氧气时又会与电极材料、水份进一步反应，从而分解产生有毒或剧毒气体。

这些有毒气体主要损害人体的呼吸系统，中毒后会出现类似于感冒、皮肤过敏、恶心呕吐、疲惫等不良反应，吸进剂量大时，会出现更加严重的后果。